[发明专利]用于硬脆性材料超精研磨的水性研磨液及其使用方法有效
| 申请号： | 201110105589.8 | 申请日： | 2011-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN102311718A | 公开（公告）日： | 2012-01-11 |
| 发明（设计）人： | 张葵涛;汪小龙 | 申请（专利权）人： | 东莞市安美润滑科技有限公司 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;B24B37/04 |
| 代理公司： | 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司 11129 | 代理人： | 谢殿武 |
| 地址： | 523808 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于硬脆性材料超精研磨的水性研磨液及其使用方法，研磨液包括螯合剂0.1-5、pH值调节剂5-15、悬浮剂0.2-5、分散稳定剂0.5-10、润滑剂5-20、防锈剂0.5-5、防腐杀菌剂0-2、消泡剂0-2和补足100份总量余量的去离子水；本发明在碱性条件下，有利于对各种规格磨料，具有良好的悬浮性和分散稳定性，解决了各种不同硬脆性材料特别是高硬度材料的高精度研磨，不易产生划痕和腐蚀坑等缺陷，且研磨速率高，后续清洗方便；与磨料混合配合使用，具有优异的润滑性能和防锈性能，在48h内，混合液颜色均一，无沉淀，在研磨机上对晶片进行研磨，研磨后用水超声清洗，晶片表面光洁度好，无划痕和腐蚀坑等缺陷，表面粗糙度可达到2微米以内。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 脆性 材料 研磨 水性 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
一种用于硬脆性材料超精研磨的水性研磨液，其特征在于：按重量份包括下列组分：螯合剂0.1‑5、pH值调节剂5‑15、悬浮剂0.2‑5、分散稳定剂0.5‑10、润滑剂5‑20、防锈剂0.5‑5、防腐杀菌剂0‑2、消泡剂0‑2和补足100份总量余量的去离子水。
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