[发明专利]用于子孔径拼接的参考平晶前置干涉仪

摘要

本发明公开了一种用于子孔径拼接的参考平晶前置干涉仪，包括干涉仪本体、干涉仪框架、垂直移动部件、水平移动部件、引导反光镜、参考平晶。干涉仪固定于框架顶部，出射光通过第一反光镜引导传入第二反光镜再次反射，进入水平移动部件，经第三反光镜引导透过参考平晶打向被测表面。参考平晶由二维精密调整架控制，整个移动部件由二维精密定位装置控制作精确运动。整部干涉仪可在大型车间内由航车吊装进行现场实时测量。本发明设计原理科学，结构设计合理，各部件加工方便，整个构件稳定、可靠。只要将本干涉仪整体框架调整好，就可以将干涉仪方便地移动，获得稳定、清晰的干涉图。

主权项

一种用于子孔径拼接的参考平晶前置干涉仪，其特征在于，包括干涉仪本体[1]、第一水平导轨[4]、第二水平导轨[3]、第一垂直导轨[5]、第二垂直导轨[14]、第一配重块滑轨[6]、第二配重块滑轨[15]、水平移动部件[16]、第一反射镜[8]、第二反射镜[11]、第三反射镜[20]、干涉仪框架[9]、水平精密定位装置[10]、垂直移动部件[12]、配重块[13]、垂直精密定位装置[24]、参考平晶[26]；干涉仪本体[1]固定于干涉仪框架[9]顶部，第一反射镜[8]位于干涉仪本体[1]的出光口，干涉仪框架[9]内部设置第一垂直导轨[5]、第二垂直导轨[14]，垂直移动部件[12]通过滑块在第一垂直导轨[5]、第二垂直导轨[14]上移动，上述垂直移动部件[12]在垂直精密定位装置[24]的带动下移动，该垂直精密定位装置[24]固定在干涉仪框架[9]上，干涉仪框架[9]背部设有配重块[13]，其重量与垂直移动部件[12]相当，该配重块[13]通过干涉仪框架[9]顶部的定滑轮与垂直移动部件[12]相连接，第一配重块导轨[6]和第二配重块导轨[15]分别位于第一垂直导轨[5]和第二垂直导轨[14]两侧，配重块[13]可在配重块导轨上滑动；垂直移动部件[12]内部设置第二反射镜[11]、水平移动部件[16]、第一水平导轨[4]和第二水平导轨[3]，水平移动部件[16]通过滑块在两个水平导轨上移动，所述水平移动部件[16]在水平精密定位装置[10]的带动下移动，该水平精密定位装置[10]固定在垂直移动部件[12]上；水平移动部件[16]内部设置第三反射镜[20]和参考平晶[26]，参考平晶[26]由二维架定板[18]和二维架动板[19]固定在水平移动部件上，二维架动板[19]在二维精密调整架[17]的带动下对参考平晶[26]进行调整；干涉仪本体[1]的出射光通过第一反射镜[8]传入垂直移动部件[12]中的第二反射镜[11]，通过第二反射镜再次反射，进入水平移动部件[16]，经水平移动部件[16]中第三反射镜[20]引导透过参考平晶[26]射向被测表面，由参考平晶[26]与被测表面构成菲索干涉腔，进行测量。