[发明专利]太阳能硅片光致发光在线抽样检测系统及其检测方法有效
| 申请号： | 201110106556.5 | 申请日： | 2011-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN102253047A | 公开（公告）日： | 2011-11-23 |
| 发明（设计）人： | 李嘉宁;刘长清;赵润川;杨铁成 | 申请（专利权）人： | 3i系统公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/89 |
| 代理公司： | 广州新诺专利商标事务所有限公司 44100 | 代理人： | 华辉;周端仪 |
| 地址： | 英国英属开曼*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 本发明属于检测系统技术领域，具体的说，涉及一种太阳能硅片光致发光在线抽样检测系统及其检测方法，其包括硅片输运带和成像系统，还包括使成像系统和抽样硅片同步的同步装置，本发明的成像系统和抽样硅片同步，实现对高速运动的输运带上的抽样硅片进行检测，从而实现了光致发光在线抽样检测并且维持了生产线的快速运转，而且减少对硅片的操作以降低破片率。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能 硅片 光致发光 在线 抽样 检测 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种太阳能硅片光致发光在线抽样检测系统，包括硅片输运带和成像系统，其特征在于：还包括使成像系统和抽样硅片同步的同步装置。
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