[发明专利]测量系统

摘要

测量系统，包括：具有处理单元和可移动支承部的坐标测量机；用于相对于基准表面定位可移动支承部的一个或多个致动器，可移动支承部具有支承部连接器；扫描探针(120、160)，与可移动支承部可拆卸地连接以测量位于定位在基准表面上的工件的表面上的扫描路径上的点；模块化旋转配件(50)，包括：第一连接器(90)，被设置为与支承部连接器互操作以将模块化旋转配件连接到可移动支承部；第二连接器(40)，被设置为与探针连接器互操作以将扫描探针连接到模块化旋转配件；和致动器(58)，用于使第二连接器相对于第一连接器旋转，该测量系统特征在于：第一连接器和第二连接器包含多个信号连接器(97、47、42)以将驱动信号传送到模块化旋转配件的致动器。

主权项

一种测量系统，该测量系统包括：具有处理单元和可移动支承部的坐标测量机；用于相对于基准表面定位所述可移动支承部的一个或更多个致动器，所述可移动支承部具有支承部连接器；扫描探针(120、160)，该扫描探针(120、160)与所述可移动支承部可拆卸地连接，用于测量位于被定位在所述基准表面上的工件的表面上的扫描路径上的点；以及模块化旋转配件(50)，该模块化旋转配件(50)包括：第一连接器(90)，该第一连接器(90)被设置为与所述支承部连接器互操作，用于将所述模块化旋转配件连接到所述可移动支承部；第二连接器(40)，该第二连接器(40)被设置为与探针连接器互操作，用于将所述扫描探针连接到所述模块化旋转配件；以及致动器(58)，该致动器(58)用于使所述第二连接器相对于所述第一连接器旋转，该测量系统的特征在于：所述第一连接器和所述第二连接器包含多个信号连接器(97、47、42)，用于将驱动信号传送到所述模块化旋转配件的所述致动器。