[发明专利]复匹配型铜缓蚀剂的制备及表面处理方法无效
| 申请号： | 201110108010.3 | 申请日： | 2011-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN102206826A | 公开（公告）日： | 2011-10-05 |
| 发明（设计）人： | 何国;樊良伟;张敏达;何献忠 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | C23F11/16 | 分类号： | C23F11/16;C25D9/02 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 31201 | 代理人： | 王锡麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种金属表面处理技术领域的复匹配型铜缓蚀剂的制备及表面处理方法，该复匹配型铜缓蚀剂的组分为：BTA、2-疏基苯并噻唑、混合稀土盐、表面活性剂、柠檬酸、铜络合剂，余量为水。本发明通过在表面处理工艺中结合电化学处理工艺，缩短了铜表面缓蚀膜层形成的时间，提高了表面处理工艺的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 匹配 型铜缓蚀剂 制备 表面 处理 方法 | ||
【主权项】：
一种复匹配型铜缓蚀剂，其特征在于，其组分及含量为：苯并三氮唑：4‑16g/L、2‑疏基苯并噻唑：4‑20g/L、混合稀土盐：2‑8g/L、壬基酚聚氧乙烯醚：1‑3.2g/L、柠檬酸：6‑24g/L以及磺基水杨酸4‑10g/L，余量为水。
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