[发明专利]清洗药液的前馈温度控制方法

摘要

本发明涉及一种清洗药液的前馈-串级温度控制方法，属于自动化控制技术领域。为了提高药液温度控制方法的抗扰动能力，该方法包括如下步骤：在药液存储槽底部位置设置第一温度传感器及前馈控制器，在加热器的出口处设置第二温度传感器，在工艺清洗供液出口处设置第三温度传感器；控制加热器对药液存储槽进行加热，使存储槽内药液温度达到目标温度值；当药液达到目标温度值并稳定后，进行清洗药液供给，同时控制加热器加热功率使供液温度稳定保持为供液目标温度值。该方法可以有效的克服因清洗药液回收或者补液所引起的供液出口处的供液温度的扰动；可以有效克服管道压力变化等因素所引起的流量波动对加热器出口处药液温度的影响。

主权项

一种清洗药液的前馈‑串级温度控制方法，其特征在于，所述温度控制方法涉及包括药液存储槽、加热器以及过滤器的化学药液传递系统，所述化学药液传递系统通过工艺清洗供液出口对清洗目标设备进行清洗药液的供给，所述温度控制方法包括如下步骤：S1：在所述药液存储槽底部位置设置第一温度传感器，并对应设置有前馈控制器；在所述加热器的出口处设置第二温度传感器，并对应设置有串级内环PID控制器；在所述工艺清洗供液出口处设置第三温度传感器，并对应设置有串级外环PID控制器；S2：预先设定药液存储槽内的存储槽目标温度值以及工艺清洗供液出口处的供液目标温度值；S3：控制加热器对药液存储槽内的药液进行加热，并使所述第一温度传感器所检测到的存储槽内药液温度达到所述存储槽目标温度值；S4：当药液存储槽内的药液达到存储槽目标温度值并稳定后，开启工艺清洗供液出口进行清洗药液供给，同时通过所述串级内环PID控制器、串级外环PID控制器以及前馈控制器对加热器的加热功率进行控制使所述第三温度传感器所检测到的供液温度稳定保持为所述预设的供液目标温度值。