[发明专利]一种偏置漂移主动纠正系统、方法及引线键合机

摘要

本发明提供了一种偏置漂移主动纠正系统、方法及引线键合机，通过将准直镜、分光镜、同轴光发射器以及回反射器的合理设置，并将不同时间点上，劈刀刀尖在工作时所形成的金球在成像系统探测器靶面上的不同位置间的差值，确定为劈刀和成像系统之间距离的偏置漂移量；根据该偏置漂移量纠正劈刀和成像系统之间的距离参数。从而可以实时精确测量劈刀和成像系统之间距离的偏置漂移量并对所述距离参数进行纠正，确保引线键合机的焊接精度，提供芯片的成品率，且结构简单，成本低，便于实现模块化。

主权项

一种偏置漂移主动纠正系统，其特征在于，所述系统设置于一引线键合机中，并设置于引线键合头的下方；所述引线键合机包括：劈刀；以及设置有探测器的成像系统；所述劈刀刀尖在工作时形成金球；所述偏置漂移主动纠正系统包括：第一准直镜、第二准直镜、分光镜、同轴光发射器以及回反射器；所述同轴光发射器所发射的同轴光依次经过所述分光镜、第一准直镜，照亮所述金球；所述金球反射的光线依次经过所述第一准直镜、分光镜、回反射器、第二准直镜，将所述金球的像成像于所述成像系统中所述探测器的靶面上；所述偏置漂移主动纠正系统还包括：偏置漂移量获取模块，用于在第一时间获取所述金球的像在所述探测器靶面上的第一位置信息，以及在第二时间获取所述金球的像在所述探测器靶面上的第二位置信息，将所述第一位置信息与第二位置信息的差值确定为所述劈刀与成像系统之间距离的偏置漂移量；纠正模块，用于根据所述偏置漂移量获取模块获取的偏置漂移量，纠正引线键合机在焊接时所使用的劈刀与成像系统之间距离参数。