[发明专利]一种光致抗蚀剂的剥离液组合物无效
| 申请号： | 201110109548.6 | 申请日： | 2011-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN102221791A | 公开（公告）日： | 2011-10-19 |
| 发明（设计）人： | 张军;常积东;李承孝 | 申请（专利权）人： | 西安东旺精细化学有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 徐平 |
| 地址： | 710075 陕西省西安*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光致抗蚀剂的剥离液组合物，包含无机碱、铵盐、防腐蚀剂和水。本发明的剥离液尤其适用于厚度为100μm以上的厚干膜的剥离，可以在较低温度(40-50℃)、较短时间(＜30min)条件下，完全剥离厚干膜。低成本，使用条件简单，不含挥发性有机化合物，环境友好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光致抗蚀剂 剥离 组合 | ||
【主权项】：
一种光致抗蚀剂的剥离液组合物，其特征在于：包含(1)无机碱，含量为1wt％‑25wt％；(2)氨水或/和至少一种铵盐，含量为0.1‑30wt％；(3)防腐蚀剂，含量为0.1‑15wt％；(4)余量为水。
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