[发明专利]小滴单元与衬底处理设备有效
| 申请号： | 201110110415.0 | 申请日： | 2011-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN102236215A | 公开（公告）日： | 2011-11-09 |
| 发明（设计）人： | 金相淳;赵翊成;金义中 | 申请（专利权）人： | AP系统股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1341 | 分类号： | G02F1/1341 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 臧建明 |
| 地址： | 韩国京畿道*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种小滴单元，其包含：抽吸部分，其包括具有容纳源材料的抽吸空间的主体，以及覆盖该抽吸空间的侧部分的压力调整膜，其经配置以弹性地变形；注入部分，其连接到抽吸空间以将源材料注入到抽吸空间；排出部分，其连接到抽吸空间以将源材料从抽吸空间排出；第一阀，其具有连接到注入部分的一端，第一阀的连通是根据抽吸部分的压力调整膜的弹性变形方向来控制；以及第二阀，其具有连接到排出部分的一端，第二阀的连通是根据抽吸部分的压力调整膜的弹性变形方向来控制。由于在抽吸空间内往复的注射器杆是不必要的，所以不存在归因于注射器杆的外部表面与界定该抽吸空间的内部表面之间的接触引起的摩擦，从而防止粒子形成。 | ||
| 搜索关键词： | 单元 衬底 处理 设备 | ||
【主权项】：
一种小滴单元，其包括：抽吸部分，其包括具有容纳源材料的抽吸空间的主体，以及覆盖所述抽吸空间的侧部分的压力调整膜，所述压力调整膜经配置以弹性地变形；注入部分，其连接到所述抽吸空间，以将所述源材料注入到所述抽吸空间；排出部分，其连接到所述抽吸空间，以将所述源材料从所述抽吸空间排出；第一阀，其具有连接到所述注入部分的一端，所述第一阀的连通是根据所述抽吸部分的所述压力调整膜的弹性变形方向来控制；以及第二阀，其具有连接到所述排出部分的一端，所述第二阀的连通是根据所述抽吸部分的所述压力调整膜的弹性变形方向来控制。
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