[发明专利]非接触式数字微镜器件微镜片一致性检测仪

摘要

本发明公开了一种非接触式数字微镜器件微镜片一致性检测仪，该检测仪包括白光光源、会聚透镜、光阑、透镜、散射镜、光波长滤波器、半透分光反射镜、变焦透镜组、正光焦度透镜、单凸透镜、单凹透镜、双胶合透镜、平面透光板、凹凸单透镜、盖玻片、双凸正光焦透镜、反光镜、ICCD、数字微镜器件、高度可调节平台、手动调节旋钮、平台自动调节驱动器、光波长滤波器驱动单元、光源控制器、图像采集和控制终端、计算机、封闭式机壳、样本窗、滑动开关门、传送带、滚珠及传送带控制器。本发明能够根据不同微镜片能清晰成像时对应的光波长不同，通过计算波长差异来换算微镜片之间的水平高度差，从而对微镜器件表面一致性进行无接触检测。

主权项

一种非接触式数字微镜器件微镜片一致性检测仪，其特征在于该检测仪包括白光光源（1）、第一会聚透镜（201）、第二会聚透镜（202）、第三会聚透镜（203）、第四会聚透镜（204）、第五会聚透镜（205）、第一光阑（301）、第二光阑（302）、第三光阑（303）、第一透镜（401）、第二透镜（402）、第三透镜（403）、第四透镜（404）、第一散射镜（501）、第二散射镜（502）、第三散射镜（503）、光波长滤波器（6）、半透分光反射镜（7）、变焦透镜组（8）、第一正光焦度透镜（9）、第二正光焦度透镜（18）、第三正光焦度透镜（19）、第一单凸透镜（10）、第二单凸透镜（11）、单凹透镜（12）、双胶合透镜（13）、平面透光板（14）、凹凸单透镜（15）、盖玻片（16）、双凸正光焦透镜（17）、反光镜（20）、ICCD（21）、数字微镜器件（22）、高度可调节平台（23）、手动调节旋钮（24）、平台自动调节驱动器（25）、光波长滤波器驱动单元（26）、光源控制器（27）、图像采集和控制终端（28）、计算机（29）、封闭式机壳（30）、滑动开关门（31）、传送带（32）、滚珠（33）及传送带控制器（34），所述白光光源（1）、第一会聚透镜（201）、第一光阑（301）、第一透镜（401）、第二光阑（302）、第二透镜（402）、第一散射镜（501）、第二会聚透镜（202）、光波长滤波器（6）、第三会聚透镜（203）、半透分光反射镜（7）、变焦透镜组（8）、第一正光焦度透镜（9）、第一单凸透镜（10）、第三光阑（303）、第二单凸透镜（11）、第三透镜（403）、单凹透镜（12）、双胶合透镜（13）、平面透光板（14）、凹凸单透镜（15）、盖玻片（16）依次构成照明光路；所述盖玻片（16）、凹凸单透镜（15）、平面透光板（14）、双胶合透镜（13）、单凹透镜（12）、第三透镜（403）、第二单凸透镜（11）、第三光阑（303）、第一单凸透镜（10）、第一正光焦度透镜（9）、变焦透镜组（8）、半透分光反射镜（7）、双凸正光焦透镜（17）、第二散射镜（502）、第二正光焦度透镜（18）、第三散射镜（503）、第三正光焦度透镜（19）、第四会聚透镜（204）、反光镜（20）、第四透镜（404）、第五会聚透镜（205）、ICCD（21）依次构成成像光路；其中，分光光路和成像光路由封闭式机壳（30）完全封闭，封闭式机壳（30）下端两侧各开有一个滑动开关门（31），滑动开关门（31）通过滑动槽耦合到封闭式机壳（30）上，滑动开关门（31）开启后中间穿过传送带（32），传送带（32）穿过封闭式机壳（30）内的部分置于高度可调节平台（23）的滚珠（33）上；滑动开关门（31）的控制输入端连接到图像采集和控制终端（28）的控制输出端；传送带（32）的控制输入端连接到传送带控制器（34）的控制输出端，传送带控制器（34）的控制输入端连接至图像采集和控制终端（28）的控制输出端；高度可调节平台（23）通过精密螺纹耦合到封闭式机壳（30）上，高度可调节平台（23）配有手动调节旋钮（24），高度可调节平台（23）的控制输入端连接至平台自动调节驱动器（25）的控制输出端，平台自动调节驱动器（25）的控制输入端连接至图像采集和控制终端（28）的控制输出端；变焦透镜组（8）的控制输入端连接至图像采集和控制终端（28）的控制输出端；光源控制器（27）的控制输入端连接至图像采集和控制终端（28）的控制输出端；光波长滤波器（6）的控制输入端连接至光波长滤波器驱动单元（26）的控制输出端，光波长滤波器驱动单元（26）的控制输入端连接至图像采集和控制终端（28）的控制输出端，光波长滤波器驱动单元（26）固定于封闭式机壳（30）的上端；ICCD（21）的数据输出端连接至图像采集和控制终端（28）的数据输入端，图像采集和控制终端（28）的数据输出端连接至计算机（29）的数据输入端。