[发明专利]机械手、大气传输单元和晶片传输方法

摘要

本发明公开了一种机械手、大气传输单元和晶片传输方法。该机械手包括机械手臂、驱动装置、终端受动器和旋转电机；终端受动器和驱动装置分别连接于机械手臂，终端受动器用于承载晶片，驱动装置用于驱动机械手臂进行伸缩运动以实现对晶片进行传输；旋转电机连接于所述终端受动器，旋转电机用于驱动终端受动器旋转以带动所承载的晶片旋转进而使晶片的表面与水平面呈预设吹扫角度。本发明中当将机械手应用于大气传输单元中时，机械手在传输晶片的过程中晶片的表面与水平面呈预设吹扫角度，极大的减少了随气体沉积到晶片表面的颗粒以及使晶片表面附着的颗粒更加有效的被去除，从而提高了去除晶片表面颗粒的效果。

主权项

一种机械手，其特征在于，包括机械手臂、驱动装置、终端受动器和旋转电机；所述终端受动器和所述驱动装置分别连接于所述机械手臂，所述终端受动器用于承载晶片，所述驱动装置用于驱动所述机械手臂进行伸缩运动以实现对晶片进行传输；所述旋转电机连接于所述终端受动器，所述旋转电机用于驱动所述终端受动器旋转以带动所承载的晶片旋转进而使所述晶片的表面与水平面呈预设吹扫角度。