[发明专利]用于测量待测量大面积表面上的薄层厚度的方法和设备有效
| 申请号： | 201110118055.9 | 申请日： | 2011-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN102252640A | 公开（公告）日： | 2011-11-23 |
| 发明（设计）人： | H.费希尔 | 申请（专利权）人： | 赫尔穆特费希尔有限责任公司电子及测量技术研究所 |
| 主分类号： | G01B21/08 | 分类号： | G01B21/08 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 原绍辉 |
| 地址： | 德国辛*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于测量待测量大面积表面（12）上的薄层厚度的方法和设备，其中，包括至少一个传感器元件（29）以及与该传感器元件（29）相关联的至少一个接触球冠（31）的至少一个测量探头（28）被施加到待测量表面（12）以便获得测量值，其中，待测量大面积表面（12）被再分成单独的部分区域（14），针对待检查的每个部分区域（14）来确定测量点（16）的矩阵，使用承载至少一个测量探头（28）的设备（21）沿着部分区域（14）的矩阵的至少一行（17）在等距离测量点（16）处确定测量值，并且针对部分区域（14）中的矩阵中的所有行（17）接连地确定测量值并针对此部分区域（14）进行评估。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测量 大面积 表面上 薄层 厚度 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种用于测量待测量大面积表面（12）上的薄层厚度的方法，其中，包括至少一个传感器元件（29）以及与传感器元件（29）相关联的至少一个接触球冠（31）的至少一个测量探头（28）被施加到待测量表面（12）以便获得测量值，其特征在于，待测量大面积表面（12）被再分成单独的部分区域（14），针对待检查的每个部分区域（14）来确定测量点（16）的矩阵，使用承载至少一个测量探头（28）的设备（21）沿着部分区域（14）的矩阵的至少一行（17）在等距离的测量点（16）处确定测量值，以及针对部分区域（14）中的矩阵的所有行（17）接连地确定测量值并针对此部分区域（14）进行评估。
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