[发明专利]装载器分解装置及装载器分解方法无效
| 申请号： | 201110118319.0 | 申请日： | 2011-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN102288790A | 公开（公告）日： | 2011-12-21 |
| 发明（设计）人： | 小暮吉成 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱德万测试 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04 |
| 代理公司： | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 44217 | 代理人： | 高占元 |
| 地址： | 日本东京都练*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供了一种能够分解测试用装载器的装载器分解装置。分解测试用装载器(60)的装载器分解装置(1)具备保持覆盖构件(80)的保持头(11)、保持基底构件(70)的保持台(20)、使保持头(11)远离保持台(20)并使覆盖构件(80)和基底构件(70)分离的第1搬送臂(16)，保持头(11)具有在保持头(11)和覆盖构件(80)之间形成第1密闭空间(13)的第1密闭构件(12)，保持台(20)具有在保持台(20)和基底构件(70)之间形成第2密闭空间(24)的第2密闭构件(21)，装载器分解装置(1)还具备对密闭空间(13，24)进行降压的真空泵(90)。 | ||
| 搜索关键词： | 装载 分解 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种分解具有将电子元件夹在之间的覆盖构件及基底构件的测试用装载器的装载器分解装置，其特征在于，具备：保持前述覆盖构件的保持头；保持前述基底构件的第1保持台；和使前述保持头远离前述第1保持台并使前述覆盖构件和前述基底构件分离的分离部件，前述保持头具有在前述保持头和前述覆盖构件之间形成第1密闭空间的第1密闭部件，前述第1保持台具有在前述第1保持台和前述基底构件之间形成第2密闭空间的第2密闭部件，前述装载器分解装置还具备：对前述第1密闭空间进行降压的第1降压部件；和对前述第2密闭空间进行降压的第2降压部件。
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