[发明专利]LED自动曝光机基板非接触式快速预定位方法及其装置有效
申请号: | 201110120042.5 | 申请日: | 2011-05-11 |
公开(公告)号: | CN102193346A | 公开(公告)日: | 2011-09-21 |
发明(设计)人: | 刘卫东;何琪;戚琳;陈睿 | 申请(专利权)人: | 武汉东羽光机电科技有限公司 |
主分类号: | G03F9/00 | 分类号: | G03F9/00;G03F7/20 |
代理公司: | 武汉开元知识产权代理有限公司 42104 | 代理人: | 俞鸿 |
地址: | 430070 湖北省*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种LED自动曝光机基板非接触式快速预定位方法及其装置。它通过基板支架上的基板在旋转过程中,采集基板的边缘点的电位信号数据,然后利用边缘点的电位信号数据,将各边缘点进行拟合计算得到基板边缘图形,确定基板的基准点位置,求出基准点与旋转中心点的偏差,再通过转动基板和/或移动基板支架,使基准点进入基准位置,实现基板非接触式快速预定位。本发明基板快速预定位,提高效率,成本低。 | ||
搜索关键词: | led 自动 曝光 机基板非 接触 快速 预定 方法 及其 装置 | ||
【主权项】:
一种LED自动曝光机基板非接触式快速预定位方法,它通过基板支架上的基板在旋转过程中,采集基板的边缘点的电位信号数据,然后利用边缘点的电位信号数据,将各边缘点进行拟合计算得到基板边缘图形,确定基板的基准点位置,求出基准点与旋转中心点的偏差,再通过转动基板和/或移动基板支架,使基准点进入基准位置,实现基板非接触式快速预定位;所述采集基板的边缘点的电位信号数据是利用边缘感测器在基板旋转一周,等间隔角度读取的基板外缘点的距离数据(r2i),再将基板外缘点的距离数据(r2i)加上旋转中心到边缘感测器读数的0点位置的距离r1以及等间隔旋转的角度(θi)转换为(X,Y)坐标系的(Xi,Yi)坐标值。
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