[发明专利]板状部件的加工装置及其加工方法

摘要

本发明提供板状部件的加工装置及其加工方法。能够在基材上形成有薄膜层而平面为四边形的板状部件上将周缘部的不需要的薄膜层高效地除去。具有供上述板状部件的周缘部插入并除去该周缘部的不需要的薄膜层的周缘部加工室以及使上述板状部件移动的移动单元，上述周缘部加工室是顶面封闭而对向面开口的中空形状的周缘部加工用飞散防止罩以及具有与上述周缘部加工用飞散防止罩的开口面相同形状的开口面的周缘部加工用吸引罩连结而成的构造体。在上述周缘部加工室中将喷丸用加工喷嘴以该喷嘴的喷射口被上述周缘部加工用飞散防止罩的壁面覆盖的方式配置。

主权项

一种板状部件的加工装置，是用于将在平面为长方形或正方形的板状的基材的上述平面上形成有薄膜层的板状部件的周缘部的不需要的薄膜层除去的加工装置，其特征在于，上述加工装置，具有供上述板状部件的周缘部插入而将该周缘部的不需要的薄膜层除去的周缘部加工室，以及使上述板状部件相对于在上述周缘部加工室内配置的喷丸加工用喷嘴相对地移动的移动单元，上述周缘部加工室，具备：周缘部加工用飞散防止罩，该周缘部加工用飞散防止罩的形成顶面的一端面被封闭，并且与上述顶面相向的面开口；周缘部加工用喷丸加工喷嘴，该周缘部加工用喷丸加工喷嘴是对被加工面喷射喷射材料来进行喷丸加工的喷嘴，且以该喷嘴的喷射口被上述周缘部加工用飞散防止罩的壁面覆盖的方式被配置于该周缘部加工用飞散防止罩；周缘部加工用吸引罩，该周缘部加工用吸引罩具有与上述周缘部加工用飞散防止罩的开口面相同形状的开口面；中空形状的周缘部加工用吸引部件，该周缘部加工用吸引部件的两端面开口，且端面与上述周缘部加工用吸引罩和吸引单元连通，并且，形成将上述周缘部用飞散防止罩的上述开口面与上述周缘部加工用吸引罩的上述开口面连结的构造体，上述构造体形成有能够供上述周缘部插入的开口部，且该开口部在上述周缘部插入时能够在该加工室的开口端部与上述板状部件的被加工面及其背面之间形成外部气体能够导入的空隙。