[发明专利]钛铈共掺杂硅铝氮氧发光薄膜、其制备方法及有机电致发光器件有效
| 申请号： | 201110126037.5 | 申请日： | 2011-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN102786930A | 公开（公告）日： | 2012-11-21 |
| 发明（设计）人： | 周明杰;王平;陈吉星;冯小明 | 申请（专利权）人： | 海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司 |
| 主分类号： | C09K11/80 | 分类号： | C09K11/80;C23C14/06;C23C14/35;H01L51/50;H01L51/52;H01L51/54 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 何平 |
| 地址： | 518100 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于发光材料领域，其公开了一种钛铈共掺杂硅铝氮氧发光薄膜及其制备方法、有机电致发光器件；该钛铈共掺杂硅铝氮氧发光薄膜包含如下化学组分(质量百分比)：Al2O3、1～15％；TiO2、0.01～1.5％；CeO2、0.01～1.0％；余量为Si3N4。本发明采用磁控溅射设备，制备钛铈共掺杂硅铝氮氧发光薄膜，薄膜制备工艺简单，成本低；该发光薄膜的化学性能稳定，寿命长，且可在发光覆盖的波长范围大，是制备白光器件的优良基础材料。 | ||
| 搜索关键词： | 钛铈共 掺杂 硅铝氮氧 发光 薄膜 制备 方法 有机 电致发光 器件 | ||
【主权项】：
一种钛铈共掺杂硅铝氮氧发光薄膜，其特征在于，该薄膜包含如下化学组分(质量百分比)：Al2O3 1～15％；TiO2 0.01～1.5％；CeO2 0.01～1.0％；余量为Si3N4。
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