[发明专利]托盘装置及结晶膜生长设备

摘要

本发明属于结晶膜生长技术领域。本发明提供的托盘装置包括：多个层叠设置的托盘，相邻托盘之间具有一定间距；旋转机构，其至少与一个托盘连接并借助于托盘之间的层叠结构而带动所述多个托盘进行旋转运动；以及限位机构，其与所述托盘连接，用于对所述多个托盘的位置进行限定。结晶膜生长设备包括工艺腔室、工艺气体输送系统及排气系统，在工艺腔室内设置有上述托盘装置，用以在工艺过程中承载基片。本发明提供的托盘装置及结晶膜生长设备可以在托盘装置旋转过程中限制各托盘在径向和/或周向方向上产生相对位移，从而减少甚至避免彼此叠置的托盘之间因相对位移而产生摩擦和/或挤压并导致托盘损毁，进而延长托盘装置和结晶膜生长设备的使用寿命。

主权项

一种托盘装置，用于承载被加工基片，其包括多个层叠设置的托盘，并且相邻托盘之间具有一定间距，其特征在于，所述托盘装置还包括旋转机构，其至少与一个托盘连接并借助于托盘之间的层叠结构而带动所述多个托盘进行旋转运动；以及限位机构，其与所述托盘连接，用于对所述多个托盘的位置进行限定。