[发明专利]机床用超长光栅尺逆辊压印成型方法有效
申请号: | 201110127212.2 | 申请日: | 2011-05-17 |
公开(公告)号: | CN102169289A | 公开(公告)日: | 2011-08-31 |
发明(设计)人: | 刘红忠;李烜;史永胜;尹磊;冯龙;杨俊;丁玉成;卢秉恒 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00;G01B11/02 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 徐文权 |
地址: | 710049 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开一种制造机床用超长光栅尺逆辊压印成型方法,该方法采用网纹辊涂胶的方式,并用刮刀与之配合控制UV固化光刻胶胶量,通过网纹辊与模具的回转运动将光刻胶转移到模具表面,使UV固化光刻胶完全填充模具的槽型微结构,并对光刻胶进行第一次UV固化,使液态UV固化胶固化,保证其几何形貌。选用有一定抗拉强度和柔性的光栅尺胚,并对其进行表面处理,增大其与紫外光固化胶的结合力,通过柱面模具的高精度回转运动,将模具表面的微结构转移至光栅尺胚表面,通过高精度连续回转运动控制,实现超长高精度光栅尺的制造。该方法克服了传统光栅尺制造中环境条件依赖性高、制造效率低、成本高的缺点,实现超长光栅尺的高速、低成本、连续制造。 | ||
搜索关键词: | 机床 超长 光栅尺 压印 成型 方法 | ||
【主权项】:
机床用超长光栅尺逆辊压印成型方法,其特征在于,包括以下步骤:1)光栅尺胚表面处理:选择金属带、陶瓷或玻璃作为光栅尺胚,对尺胚表面进行等离子气处理;2)制作光栅模具:选择殷钢、Ni或者Cr作为光栅模具基材,采用激光刻蚀、机械刻划或电化学/化学腐蚀方法制作表面有微结构的辊筒形光栅模具;3)网纹辊表面滚胶:在网纹辊表面滚涂一层紫外光固化胶;4)使用刮刀将网纹辊表面多余胶料刮去;5)采用超声波雾化工艺,在光栅模具表面涂覆一层脱模剂;6)将光栅模具与网纹辊相对转动,将网纹辊上的紫外光固化胶胶料转移并填充至光栅模具沿圆周线分布的光栅栅线凹槽内;7)将光栅模具表面的紫外光固化胶进行UV弱固化;8)将光栅模具与处理后光栅尺胚接触,并对接触面加压,光栅模具在电机动力下旋转,光栅尺胚随光栅模具做同步平面运动,将光栅模具表面的紫外光固化胶微结构转移至光栅尺胚上;9)对转印后的光栅尺胚进行UV固化定型后,即完成光栅尺逆辊压印成型过程。
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