[发明专利]一种人工晶体自动控制生长连续加料装置有效
申请号: | 201110127655.1 | 申请日: | 2011-05-17 |
公开(公告)号: | CN102181917A | 公开(公告)日: | 2011-09-14 |
发明(设计)人: | 王继扬;刘宏;朱怀烈;吴剑波;于永贵;孙德辉;章任上;夏宗仁;颜涛;秦小勇;崔坤;刘庆波 | 申请(专利权)人: | 山东大学;中电科技德清华莹电子有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人: | 王绪银 |
地址: | 250100 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明公开了一种人工晶体自动控制生长连续加料装置,包括悬挂坩埚晶体生长炉,计算机控制系统和气动船闸式自动连续加料装置;本发明的装置可实现无堵塞无振动连续加料,非常适用于人工晶体生长的连续加料。它也可实现计算机自动程序控制管理,避免人工操作的误差,尤其能保证对近化学计量比钽酸锂,铌酸锂等晶体悬挂坩埚法生长连续加料的要求。 | ||
搜索关键词: | 一种 人工 晶体 自动控制 生长 连续 加料 装置 | ||
【主权项】:
一种人工晶体自动控制生长连续加料装置,包括悬挂坩埚晶体生长炉,计算机控制系统和气动船闸式自动连续加料装置;其中,悬挂坩埚晶体生长炉包括悬挂坩埚系统、晶体提升和称重系统、生长炉体和温度控制柜;气动船闸式连续加料装置包括料仓、送料管、两个气动截止阀以及两个继电器;其特征是:所述晶体提升和称重系统以及温度控制柜通过数据线连计算机控制系统;所述料仓固定于底座上,料仓有上进口和下出口,料仓中部连接有吹气管,料仓的下出口与一具有弹性的送料管连接,送料管上装有两个相距设定距离的气动截止阀,送料管的末端连接铂金加料管,铂金加料管通到悬挂坩埚系统中的坩埚内的液面上;所述两个气动截止阀中上气动截止控制阀与上继电器连接,下气动截止控制阀与下继电器连接,且两个气动截止阀分别以吹气管连接;上下气动截止控制阀的开关分别由吹气管中氮气的通断控制,氮气的通断分别由上下继电器控制,继电器的开关周期由计算机系统控制。
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