[发明专利]团簇束产生装置以及方法、基板处理装置以及方法无效
| 申请号： | 201110127822.2 | 申请日： | 2011-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN102260849A | 公开（公告）日： | 2011-11-30 |
| 发明（设计）人： | 丰田纪章;山田公;成岛正树 | 申请（专利权）人： | 兵库县;东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23F4/00 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 柳春雷 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明要解决的问题在于提供能够容易地控制液体原料的团簇和气体原料的团簇的比率的团簇束产生装置以及方法、基板处理装置以及方法。本发明通过提供下述团簇束产生装置来解决上述问题，该团簇束产生装置产生团簇束，其特征在于包括：混合器，所述混合器混合气体原料和液体原料；喷嘴，所述喷嘴将在所述混合器中混合的所述气体原料和所述液体原料以团簇束的形式供应；以及温度调节部，所述温度调节部调节所述喷嘴的温度；其中，通过利用所述温度调节部改变所述喷嘴的温度来调节所述团簇束中所述液体原料的团簇和所述气体原料的团簇的比率。 | ||
| 搜索关键词： | 团簇束 产生 装置 以及 方法 处理 | ||
【主权项】：
一种团簇束产生装置，用于产生团簇束，所述团簇束产生装置的特征在于，包括：混合器，所述混合器混合气体原料和液体原料；喷嘴，所述喷嘴将在所述混合器中混合的所述气体原料和所述液体原料以团簇束的形式供应；以及温度调节部，所述温度调节部调节所述喷嘴的温度；其中，通过利用所述温度调节部改变所述喷嘴的温度，来调节所述团簇束中所述液体原料的团簇和所述气体原料的团簇的比率。
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