[发明专利]可见光点衍射干涉仪中参考球面波偏差检测装置及方法无效
| 申请号： | 201110129360.8 | 申请日： | 2011-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN102297725A | 公开（公告）日： | 2011-12-28 |
| 发明（设计）人： | 卢增雄;金春水;王丽萍 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01J9/02 | 分类号： | G01J9/02 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 李晓莉 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 可见光点衍射干涉仪中参考球面波偏差检测装置及方法，本发明属于参考球面波超高精度检测方法领域，克服了哈特曼波前传感器对波前微小偏差检测的限制，能够实现波前的高精度检测。光路包括：一束入射会聚光波，一块光栅，一个沿正交方向开有三个圆孔的小孔板，一个电荷耦合器，该电荷耦合器的输出端接计算机。一束入射会聚光波经过光栅衍射后，被分成若干个衍射级，让±1级衍射光分别通过两个小孔，由小孔衍射后产生近于理想的球面波，两个球面波发生剪切干涉，在CCD探测器上记录干涉图，采集到干涉图后便可获得衍射波前的偏差。本发明在可见光波段，通过双孔衍射产生的球面波进行剪切干涉，从而实现衍射波前的高精度检测。 | ||
| 搜索关键词： | 可见光 衍射 干涉仪 参考 球面 偏差 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
可见光点衍射干涉仪中参考球面波偏差检测装置，其特征在于，该装置包括有：一块光栅(2)、一个沿正交方向开有三个圆孔的小孔板(3)、一个CCD探测器(5)、计算机(6)，所述的小孔板(3)位于光栅(2)和CCD探测器(5)之间；所述的光栅(2)使经过它的会聚光波(1)发生衍射，且衍射光经小孔板(3)衍射后干涉叠加，并在CCD探测器(5)上记录下干涉图；所述的计算机(6)通过信号线从CCD探测器(5)上采集所记录下的干涉图。
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