[发明专利]超纯氨免污染充装方法无效
申请号: | 201110129503.5 | 申请日: | 2011-05-19 |
公开(公告)号: | CN102213362A | 公开(公告)日: | 2011-10-12 |
发明(设计)人: | 吴纳新 | 申请(专利权)人: | 吴纳新 |
主分类号: | F17C5/00 | 分类号: | F17C5/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215008 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 超纯氨免污染充装方法,它涉及超高纯电子气体的纯化和充装技术领域。它包含产品罐、热水器、温控仪、充装钢瓶。产品罐分别与热水器和充装钢瓶连接,温控仪与热水器连接;本发明采用热水器,用电加热或蒸汽加热的方法把热水的温度升高,然后通过热水器把热水送入盛有超高纯液氨的产品罐的水夹套内,使产品罐内的超高纯液氨温度升高,氨压力提高,可根据需要来设计确定和控制热水的温度,以此来提高产品罐内氨压力,实现无泵充装。 | ||
搜索关键词: | 超纯氨免 污染 方法 | ||
【主权项】:
超纯氨免污染充装方法,其特征在于它包含产品罐(1)、热水器(2)、温控仪(3)、充装钢瓶(4),产品罐(1)分别与热水器(2)和充装钢瓶(4)连接,温控仪(3)与热水器(2)连接。
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