[发明专利]超纯氨免污染充装方法无效

专利信息
申请号: 201110129503.5 申请日: 2011-05-19
公开(公告)号: CN102213362A 公开(公告)日: 2011-10-12
发明(设计)人: 吴纳新 申请(专利权)人: 吴纳新
主分类号: F17C5/00 分类号: F17C5/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215008 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 超纯氨免污染充装方法,它涉及超高纯电子气体的纯化和充装技术领域。它包含产品罐、热水器、温控仪、充装钢瓶。产品罐分别与热水器和充装钢瓶连接,温控仪与热水器连接;本发明采用热水器,用电加热或蒸汽加热的方法把热水的温度升高,然后通过热水器把热水送入盛有超高纯液氨的产品罐的水夹套内,使产品罐内的超高纯液氨温度升高,氨压力提高,可根据需要来设计确定和控制热水的温度,以此来提高产品罐内氨压力,实现无泵充装。
搜索关键词: 超纯氨免 污染 方法
【主权项】:
超纯氨免污染充装方法,其特征在于它包含产品罐(1)、热水器(2)、温控仪(3)、充装钢瓶(4),产品罐(1)分别与热水器(2)和充装钢瓶(4)连接,温控仪(3)与热水器(2)连接。
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