[发明专利]投射物镜及投射曝光机有效
| 申请号： | 201110130001.4 | 申请日： | 2011-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN102253464A | 公开（公告）日： | 2011-11-23 |
| 发明（设计）人： | 尼尔斯.迪克曼;亚历山大.沃尔夫;克里斯琴.霍兰;乌尔里克.洛林;弗朗兹.索格 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B7/02 | 分类号： | G02B7/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明提供了一种投射物镜和投射曝光机，用于将布置在投射物镜的物平面中的物成像为位于投射物镜的像平面中的物的像。投射物镜具有多个透明光学元件以及将光学元件支撑在沿着投射物镜的成像光束路径的预先规定的位置处的支撑装置。每个光学元件具有位于成像光束路径中的光学有用区域以及位于光学有用区域之外的边缘区域，并且分配给光学元件的支撑装置的至少一个支撑元件作用在边缘区域处接触区的区域中。光学元件的至少一个被分配光阑布置，其具有布置在光学元件的直接上游的错误光光阑以及布置在光学元件的直接下游的第二错误光光阑，错误光光阑中的每个被如此构造，使得错误光光阑针对在成像光束路径之外的辐射，屏蔽边缘区域的至少一部分。 | ||
| 搜索关键词： | 投射 物镜 曝光 | ||
【主权项】：
一种投射物镜，用于将布置在所述投射物镜的物平面中的物成像为位于所述投射物镜的像平面中的所述物的像，所述投射物镜具有：多个透明光学元件以及支撑装置(HD)，所述支撑装置用于将所述光学元件支撑在沿着所述投射物镜的成像光束路径的预先规定的位置处，其中，一个光学元件具有光学有用区域(OPT)以及边缘区域(ER)，所述光学有用区域(OPT)位于所述成像光束路径中，所述边缘区域(ER)位于所述光学有用区域之外，并分配给所述光学元件的支撑装置的至少一个支撑元件(HE)作用于所述边缘区域处在接触区(CZ)的区域，其特征在于所述光学元件的至少一个(L2‑1、L2‑2、L3‑6)被分配光阑布置(SA1、SA2、SA3)，其具有布置在所述光学元件的直接上游的第一错误光光阑(SLS1)以及布置在所述光学元件的直接下游的第二错误光光阑(SLS2)，所述错误光光阑中的每个被如此设想，使得针对在所述成像光束路径之外的辐射，所述错误光光阑屏蔽所述边缘区域的至少一部分。
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