[发明专利]气浮支撑系统有效
| 申请号： | 201110130112.5 | 申请日： | 2011-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN102789136A | 公开（公告）日： | 2012-11-21 |
| 发明（设计）人： | 江旭初;李生强 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种气浮支撑系统，包括基座、承版台以及两组气浮轴承。基座具有真空管路，承版台具有正压管路。两组气浮轴承对称地设置于承版台的两侧，承版台通过所述两组气浮轴承支撑于基座上方。每一组气浮轴承具有至少一个高压区与至少一个真空区。正压管路用于向高压区补充气体，真空管路用于抽取真空区的气体。本发明提供的气浮支撑系统具有高刚度、无摩擦的特点，同时可降低承版台的设计复杂度和加工难度。 | ||
| 搜索关键词： | 支撑 系统 | ||
【主权项】：
一种气浮支撑系统，其特征在于，包括：基座，具有真空管路；承版台，具有正压管路；以及两组气浮轴承，对称地设置于所述承版台的两侧，所述承版台通过所述两组气浮轴承支撑于所述基座上方，每一组所述气浮轴承具有至少一个高压区与至少一个真空区，所述正压管路用于向所述高压区补充气体，所述真空管路用于抽取所述真空区的气体。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备有限公司，未经上海微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110130112.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种水车式增氧机叶轮
- 下一篇：可调间距的鸡笼门
