[发明专利]液态源汽化装置及其汽化方法有效
| 申请号： | 201110130462.1 | 申请日： | 2011-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN102230571A | 公开（公告）日： | 2011-11-02 |
| 发明（设计）人： | 李东升;龚小雷;张敏 | 申请（专利权）人： | 上海正帆科技有限公司;上海正帆超净技术有限公司;上海正帆半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | F17C7/04 | 分类号： | F17C7/04 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 翁若莹 |
| 地址： | 201108 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种液态源汽化装置及其汽化方法，所述方法包括如下步骤：a)采用内部电加热或外部加热的方式，使液态源在汽化容器中实现蒸发汽化；b)使用外部加热使载气进入步骤a)中的汽化容器携带气体鼓泡，鼓出的气体中掺杂少量液态源蒸气，从而实现鼓泡携带汽化；c)使用流量控制模块、压力控制装置和温度控制装置共同调节汽化容器输出的气体量，并根据用气量切换步骤a)中的蒸发汽化和步骤b)中的鼓泡携带汽化。本发明提供的液态源汽化装置及其汽化方法，根据用气量切换蒸发和鼓泡模式，使系统同时适用于不同用量的液态源汽化系统，大大改善了可操作性和灵活性。 | ||
| 搜索关键词： | 液态 汽化 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种液态源汽化方法，其特征在于，所述方法依次包括如下步骤：a) 采用内部电加热或外部加热的方式，使液态源在汽化容器中实现蒸发汽化；b) 使用外部加热使载气进入步骤a)中的汽化容器携带气体鼓泡，鼓出的气体中掺杂少量液态源蒸气，从而实现鼓泡携带汽化；c) 使用流量控制模块、温度控制装置、压力控制装置和液位控制装置共同调节汽化容器输出的气体量，切换步骤a)中的蒸发汽化和步骤b)中的鼓泡携带汽化，当终端用气量超过阈值时，所述流量控制模块选择步骤a)中的蒸发汽化，否则，选用步骤b)中的鼓泡携带汽化。
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