[发明专利]用于检测图案缺陷的设备无效
| 申请号： | 201110132347.8 | 申请日： | 2011-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN102680497A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 金泽兼;朴首雄;朴珍远 | 申请（专利权）人： | 三星电机株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 江娟;南毅宁 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 公开了一种用于检测图案缺陷的设备。该用于检测图案缺陷的设备包括：光源，产生并发射光；扫描镜，将从光源发射的光扫描到板；荧光图像检测器，检测在板上发荧光的荧光图像；以及散射光图像检测器，检测在板上散射的散射光图像，从而可在曝光过程期间容易地检测图案缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检测 图案 缺陷 设备 | ||
【主权项】：
一种用于检测图案缺陷的设备，该设备包括：光源，该光源用于产生并发射光；扫描镜，该扫描镜用于将从所述光源发射的光扫描到板；荧光图像检测器，该荧光图像检测器用于检测在所述板上发荧光的荧光图像；以及散射光图像检测器，该散射光图像检测器用于检测在所述板上散射的散射光图像。
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