[发明专利]一种红外透明导电薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201110133106.5 | 申请日： | 2011-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN102280163A | 公开（公告）日： | 2011-12-14 |
| 发明（设计）人： | 冯丽萍;刘正堂;王印权 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | H01B5/14 | 分类号： | H01B5/14;H01B13/00 |
| 代理公司： | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人： | 慕安荣 |
| 地址： | 710072 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种红外透明导电薄膜及其制备方法，在蓝宝石试样的SiO2增透薄膜上或者蓝宝石表面覆盖一层厚度为20～30nm，周期为500～700μm，线宽为2.0～4.0μm的Au网栅薄膜，并通过涂光刻胶、前烘、曝光、显影、后烘、沉积Au薄膜和去光刻胶，形成红外透明导电薄膜。由于Au网栅薄膜的周期远大于红外光的波长，故Au网栅薄膜对红外光学性能影响不大。同时又由于Au网栅薄膜的周期远小于电磁波的波长，所以Au网栅薄膜具有良好的电磁屏蔽功能。因而，Au网栅薄膜可作为蓝宝石的红外透明导电薄膜。结合镀有的SiO2红外增透薄膜，可实现同时有效地提高蓝宝石衬底的红外透过率和电磁屏蔽效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 红外 透明 导电 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种红外透明导电薄膜，蓝宝石衬底的单面或双面镀上SiO2增透薄膜，形成蓝宝石试样；其特征在于：在蓝宝石试样的SiO2增透薄膜上或者蓝宝石表面覆盖一层Au网栅薄膜，形成了红外透明导电薄膜；Au网栅薄膜的厚度为20～30nm，Au网栅薄膜的周期为500～700μm，Au网栅薄膜的线宽为2.0～4.0μm。
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