[发明专利]晶圆端面采样方法

摘要

本发明公开了一种半导体晶圆的端面采样方法。相对浸泡采样方法，本发明不需要使用大量纯水或化学药剂将晶圆整体浸入采样，而是以采样夹具狭缝中依靠表面张力附着的采样药剂液滴对晶圆端面进行采样，大大地提高了采样精度和效率。每次采样过程仅仅需要微升级的采样液，减少了采样液用量并且减低了采样成本，同时也减少了采样过程中废液的产生。

主权项

一种半导体晶圆端面采样方法，其特征在于采用如下步骤：(1)机械手把晶圆放置于上下方向移动自如的升降器上；升降器下降，把晶圆设置于回转自如的支承晶圆的盘体上；同心调整机构把晶圆圆心对准盘体圆心；晶圆旋转并带动固定在盘体下侧的三个转轮一起转动；同心调整机构使晶圆保持水平、同心转动；(2)采样夹具输出采样药剂液体，对晶圆端面进行采样；(3)晶圆端面用采样药剂采样完毕后，采样液滴回收到采样计量瓶中；所述采样夹具的结构为侧面具有一个狭缝，内部具有液体输出管道和液体回收管道，其中液体输出管道用于输出采样药液或纯水，液体回收管道用于回收采样药液；使用时计算机通过调整采样夹具狭缝和晶圆端面距离，使晶圆旋转时只有晶圆端面与采样夹具侧面狭缝中的采样药剂液滴接触。