[发明专利]一种全背电极太阳能电池的制作方法

摘要

一种全背电极太阳能电池的制作方法，其对硅片进行损伤层去除和正面制绒之后进行磷扩散，同时形成正面场和背面场；然后在所述硅片的正面和背面形成一层氧化膜；之后，在所述硅片背面需要形成发射极电极的地方去除氧化膜和背面场，在需要制作基极电极的地方保留氧化膜和背面场；最后，以保留的氧化膜为掩膜，对所述硅片背面去除了所述氧化膜和所述背面场的地方进行扩散形成发射极。通过本发明所提供的方法最后形成的全背电极太阳能电池，其工艺简单，电池效率高，并可方便的进行组件的焊接。另外，由于所采用的工艺无需专门设计的设备，成本低廉，生产的产品均一化好，适于大规模工业化生产和应用。

主权项

一种全背电极太阳能电池的制作方法，其特征在于，所述太阳能电池包括硅片，所述硅片具有正面和背面，所述正面为所述硅片正常使用时的受光面，所述背面为所述正面相对的一面，所述太阳能电池的全部电极均形成于所述硅片的背面，所述制作方法包括如下步骤：A、对用于制作所述太阳能电池的硅片进行损伤层去除和正面制绒，并制得抛光的硅片背面；B、对所述硅片进行磷扩散，同时在所述硅片的正面形成正面场、在所述硅片的背面形成背面场；然后在所述硅片的正面和背面形成一层氧化膜；C、在所述硅片背面需要形成发射极电极的地方去除顶部的所述氧化膜和磷扩散后形成的所述背面场，在需要制作基极电极的地方保留所述氧化膜和所述背面场；D、以所述保留的氧化膜为掩膜，对所述硅片背面去除了所述氧化膜和所述背面场的地方进行扩散形成发射极；E、去除所述硅片背面保留的氧化膜，露出其下的基极；然后分别在所述发射极和基极位置形成金属电极。