[发明专利]燃料电池的MEMS制造方法有效
| 申请号： | 201110133383.6 | 申请日： | 2011-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN102800879A | 公开（公告）日： | 2012-11-28 |
| 发明（设计）人： | 李春龙;赵超 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H01M8/10 | 分类号： | H01M8/10;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京蓝智辉煌知识产权代理事务所(普通合伙) 11345 | 代理人： | 陈红 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种燃料电池的MEMS制造方法，包括：步骤A，提供衬底；步骤B，在所述衬底上同时形成阳极和阴极，以构成燃料电池的极板；步骤C，将所述燃料电池的极板与质子交换薄膜层叠，压合组装形成燃料电池。依照本发明的燃料电池的MEMS制造方法，集成燃料电池阳极、阴极板在同一硅片上，因此本发明工艺简单、构造简洁、便于组装。 | ||
| 搜索关键词： | 燃料电池 mems 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种燃料电池的MEMS制造方法，包括：步骤A，提供衬底；步骤B，在所述衬底上同时形成阳极和阴极，以构成燃料电池的极板；步骤C，将所述燃料电池的极板与质子交换薄膜层叠，压合组装形成燃料电池。
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