[发明专利]一种太阳能单晶硅片的清洗工艺无效
| 申请号： | 201110134322.1 | 申请日： | 2011-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN102231404A | 公开（公告）日： | 2011-11-02 |
| 发明（设计）人： | 牛小群 | 申请（专利权）人： | 浙江星宇能源科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;B08B3/00 |
| 代理公司： | 杭州天正专利事务所有限公司 33201 | 代理人： | 舒良 |
| 地址： | 324300 浙江省开化*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种太阳能单晶硅片的清洗工艺，其特征在于将太阳能单晶硅片依次经过喷淋、脱胶、自来水漂洗、清洗剂超洗、纯水漂洗工序，之后，先在离子水和氢氟酸的混合液中浸泡一定时间，再在离子水和双氧水的混合液中浸泡一定时间，然后再次进行纯水漂洗，最后甩干烘干；采用本发明，可以将太阳能单晶硅片表面的化学物、金属杂质、酸碱残留充分清洗去除，防止太阳能单晶硅片制绒时出现白斑，产生色差现象，从而提高成品率和产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能 单晶硅 清洗 工艺 | ||
【主权项】：
一种太阳能单晶硅片的清洗工艺，其特征在于将太阳能单晶硅片依次经过喷淋、脱胶、自来水漂洗、清洗剂超洗、纯水漂洗工序，之后，先在离子水和氢氟酸的混合液中浸泡一定时间，再在离子水和双氧水的混合液中浸泡一定时间，然后再次进行纯水漂洗，最后甩干烘干。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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