[发明专利]一种相变存储材料及其制备方法有效
申请号: | 201110135885.2 | 申请日: | 2011-05-24 |
公开(公告)号: | CN102227015A | 公开(公告)日: | 2011-10-26 |
发明(设计)人: | 吕业刚;宋三年;宋志棠;刘波;饶峰;吴良才 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00;C23C14/06;C23C14/35 |
代理公司: | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人: | 李仪萍 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: |
本发明涉及一种相变存储材料及其制备方法,其中所述相变存储材料为镓-锑-硒的化合物。化学组分为GaxSbySez,其中4 | ||
搜索关键词: | 一种 相变 存储 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种相变存储材料,其特征在于,所述相变存储材料为镓‑锑‑硒的化合物。
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