[发明专利]元件结构体、惯性传感器以及电子设备有效
| 申请号： | 201110136940.X | 申请日： | 2011-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN102313820A | 公开（公告）日： | 2012-01-11 |
| 发明（设计）人： | 高木成和 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01C19/56 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供元件结构体、惯性传感器以及电子设备。能够使包含2个以上的传感器元件的元件结构体的制造变得容易。元件结构体包含第1基板(BS1)和第2基板(BS2)，第1基板(BS1)具有第1支撑层(100)和设置于第1支撑层(100)上方的第1传感器元件(SE1)，第2基板(BS2)具有第2支撑层(200)和设置在第2支撑层(200)上方的第2传感器元件(SE2)，其中，第2基板(BS2)在第1传感器元件(SE1)与第2传感器元件(SE2)相互面对的状态下，隔着间隔件(300)配置在第1基板(BS1)上。 | ||
| 搜索关键词： | 元件 结构 惯性 传感器 以及 电子设备 | ||
【主权项】：
一种元件结构体，其特征在于，该元件结构体包含：第1基板，其搭载有第1传感器元件；以及第2基板，其搭载有第2传感器元件，所述第1基板的搭载有所述第1传感器元件的表面与所述第2基板的搭载有所述第2传感器元件的表面相互面对。
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