[发明专利]新聚合物和光致抗蚀剂组合物无效
| 申请号： | 201110137538.3 | 申请日： | 2011-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN102279520A | 公开（公告）日： | 2011-12-14 |
| 发明（设计）人： | E·阿恰达;刘骢;C-B·徐 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/00;C08F220/38 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 新聚合物和光致抗蚀剂组合物。提供了一种光致抗蚀剂组合物，所述组合物包括：树脂，所述树脂具有(i)一个或多个共价连接于树脂上的光酸产生剂基团，和(ii)一个或多个光酸不稳定基团，其中一个或多个光酸产生剂部分为一个或多个光酸不稳定基团的成分。本发明优选的聚合物适用于在短波长，如200nm以下，特别是193nm成像的光致抗蚀剂。 | ||
| 搜索关键词： | 聚合物 光致抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
一种光致抗蚀剂组合物，所述组合物包括：树脂，所述树脂具有(i)一个或多个共价连接于树脂上的光酸产生剂基团，和(ii)一个或多个光酸不稳定基团，其中一个或多个光酸产生剂部分为一个或多个光酸不稳定基团的成分。
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