[发明专利]一种用于提供探头对准的方法

摘要

一种用于提供探头相对于支撑衬底对准的方法，包括的步骤为：提供限定平面表面和边缘的所述支撑衬底，所述衬底进一步限定第一晶体平面；在所述支撑衬底所述表面上提供第一掩模，所述第一掩模在所述边缘所述表面上限定第一外露区域；以及提供特定的刻蚀剂、通过所述刻蚀剂蚀刻所述第一外露区域形成的凹穴，所述凹穴限定第一侧壁、相对的第二侧壁、远离所述边缘的端壁和底壁。该方法还包括提供限定平面表面和与所述第一晶体平面相同的第二晶体平面的探头衬底；使所述探头衬底定位，从而当使用特定的刻蚀剂由所述探头衬底形成探头时使所述第一和第二晶体平面相同定位，所述探头把全等的表面限定到所述第一侧壁和第二侧壁上。

主权项

一种用于在试样特定位置上测试电性能的探头，包括：承载体，分别限定构成柔性悬臂部和基体部的相对第一和第二部，其中该柔性悬臂部在一个方向是柔性的，该悬臂部限定基本上垂直于一个方向的外平面表面，该基体部适于固定在协同操作测试机器上；在该悬臂部的至少一个导电的探头臂，至少一个导电探头臂中每个与基体部相对设置；该悬臂部限定了相对的第一和第二区，第二区与基体部接触，第一区限定第一和第二侧面，第一和第二侧面中每一个限定与外平面表面的第一角度，在第一和第二侧面之间限定第一宽度，第二区限定第三和第四侧面，第三和第四侧面中每一个限定与外平面表面的第二角度，在第三和第四侧面之间限定第二宽度，以及第二宽度等于和/或小于第一宽度。