[发明专利]碳纳米管皮拉尼真空计及其真空度检测方法有效
| 申请号： | 201110140216.4 | 申请日： | 2011-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN102313625A | 公开（公告）日： | 2012-01-11 |
| 发明（设计）人： | 张锦文;李伟;于方舟 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | G01L21/12 | 分类号： | G01L21/12;B82Y15/00 |
| 代理公司： | 北京君尚知识产权代理事务所(普通合伙) 11200 | 代理人： | 余长江 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了碳纳米管皮拉尼真空计及其真空度检测方法，该真空计主要包括衬底、相对设置的电极对和碳纳米管；其中，电极对制作在衬底上，碳纳米管搭载在电极对之间；通过电极对给碳纳米管加恒定的电流或电压加热，由于真空度不同气体热传导特性不同，因此碳纳米管恒定温度不同，又碳纳米管电阻随温度而变化，通过测量碳纳米管电阻测得真空度。本发明的碳纳米管皮拉尼真空计结构简单，体积小，性能稳定，采用的碳纳米管具有较高的电阻温度系数和导电性，因此响应快、气压测量范围宽、灵敏度高、功耗低。而且其制造工艺简单、成本低、成品率高、可靠性高。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 管皮拉尼 真空计 及其 真空 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种碳纳米管皮拉尼真空计，其特征在于，包括衬底、相对设置的电极对和碳纳米管；其中，电极对制作在衬底上，为碳纳米管提供支撑，碳纳米管的两端分别搭载在电极上，所述电极对提供电学连接，通过电极对给碳纳米管加恒定的电流或电压加热。
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