[发明专利]CVD设备和该CVD设备的控制方法

摘要

本发明提出一种CVD设备，包括：腔体，腔体形成腔室；设置在腔室顶部的电极板；呈水平放置的多个传动轮，传动轮设置在腔室之内；载板，载板放置在多个传动轮之上；第一升降机构，分别位于电极板的两端，用于支撑电极板，并控制电极板垂直移动；和控制器，与传动轮和所述第一升降机构相连，控制器用于控制多个传动轮的转动以及第一升降机构的升降，以将电极板和载板移出或者移入腔室。本发明还提出一种控制方法。本发明实施例的CVD设备具有电极板更换速度快、能耗低的优点。并且该CVD设备的控制方法具有控制简单、控制精度高的优点。

主权项

一种CVD设备，其特征在于，包括：腔体，所述腔体形成腔室；设置在所述腔室顶部的电极板；呈水平放置的多个传动轮，所述多个传动轮设置在所述腔室之内；载板，所述载板放置在所述多个传动轮之上，所述传动轮转动以带动所述载板水平移动；第一升降机构，所述第一升降机构分别位于所述电极板的两端，所述第一升降机构用于支撑所述电极板，并通过升降改变所述电极板与所述载板间的垂直距离和控制器，所述控制器与所述多个传动轮和所述第一升降机构相连，所述控制器用于控制所述多个传动轮的转动以及所述第一升降机构的升降，以将所述电极板和所述载板移出或者移入所述腔室。