[发明专利]一种用于超高真空测试的送样装置

摘要

本发明公开了一种用于超高真空测试的送样装置，涉及真空测试技术，包括真空罐、样品座、样品固定销钉、送样杆、样品连接杆、连接螺钉、样品连接头、插板阀；真空罐主体轴向一端为观察窗，径向有垂直腔、水平腔，水平腔中部有插板阀；插板阀左侧为超高真空区，右侧为低真空区，两真空区有抽气装置；待测样品由样品固定销钉固定在样品座上表面，连接螺钉将左侧的样品连接杆与样品连接头可分开的固接，样品座与样品连接头固接，位于真空腔内；样品连接杆、样品连接头、样品座、送样杆成一字水平设置，共轴线。本发明的用于超高真空测试的送样装置，结构简单，易于制造，送样可靠，可应用于各种真空测试与分析设备。

主权项

一种用于超高真空测试的送样装置，包括真空罐、样品座、样品固定销钉、送样杆；其特征在于，还包括样品连接杆、连接螺钉、样品连接头、插板阀；真空罐主体轴向一端为观察窗，径向有两个柱状凸起腔，一垂直向上，另一水平侧向延伸；垂直腔顶端中心密封穿设有测试探头，测试探头向下；水平腔外端有密封盘密封，水平腔中部有插板阀；插板阀左侧的真空罐主体、垂直腔、水平腔的左半部为超高真空区，插板阀右侧水平腔的右半部为低真空区，超高真空区和低真空区均有抽气装置；与水平腔密封盘中心通孔水平相对的真空罐主体侧壁上设有通孔，密封盘中心通孔内密封连接送样杆，真空罐主体侧壁通孔内密封连接样品连接杆，送样杆内端连接样品座右侧，样品连接杆内端连接样品连接头左侧；样品座与样品连接头相对侧面固接；送样杆、样品座、样品连接头、样品连接杆呈水平连接，共轴线；样品座上表面设有样品放置孔，样品放置孔两侧不对称的各正交设置一贯通的螺孔，两螺孔位于样品座两侧面，每一螺孔内有一样品固定销钉，待测样品置于样品放置孔内，以两样品固定销钉可拆卸的固接于样品座。