[发明专利]光照射装置无效
申请号: | 201110143534.6 | 申请日: | 2011-05-31 |
公开(公告)号: | CN102375261A | 公开(公告)日: | 2012-03-14 |
发明(设计)人: | 佐藤伸吾 | 申请(专利权)人: | 优志旺电机株式会社 |
主分类号: | G02F1/1333 | 分类号: | G02F1/1333 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 胡建新 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及光照射装置,提供一种在并列地配置了多个准分子灯的光照射装置中,适当地配置用于测量准分子灯的照度的照度传感器,从而不遮挡来自准分子灯的照射光,而能够正确检测有效照射区域内的灯中央部的正常准分子放电的结构。其特征在于,对上述准分子灯的放射光进行受光的照度传感器被配置为与该准分子灯纵长方向的一侧的端部相对应,受光面朝向准分子灯的中央部地倾斜。 | ||
搜索关键词: | 照射 装置 | ||
【主权项】:
一种光照射装置,并列地配置了多个准分子灯,其特征在于:接受上述准分子灯的放射光的照度传感器被配置为与该准分子灯的纵长方向的一侧的顶端相对应,受光面朝向准分子灯的中央部地倾斜。
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