[发明专利]一种系统提示停片规则并能进行批处理的方法无效
| 申请号： | 201110143603.3 | 申请日： | 2011-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN102810457A | 公开（公告）日： | 2012-12-05 |
| 发明（设计）人： | 周俊芳;周兰珠;张伟飞;兰云;马如军;胡振华;严晓芬 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/02 | 分类号： | H01L21/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种系统提示停片规则并能进行批处理的方法，包括以下步骤：对生产线上所有工艺按停片规则是否相同进行分类；按不同类别分别定义了参考工艺和可参考工艺，对每一参考工艺定义了停片规则；对GUI中程序进行优化，使得汇总后的所有工艺停片规则导入系统后，系统能：(1)提供报表，给出每一批次未来可停片和不可停片的提示；(2)在GUI中做停片时能给出提示；(3)GUI中可对在线批次做批处理停片。通过以上方法能显著提高停片处理效率，提升产能，降低成本，同时降低出错风险。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 系统 提示 规则 进行 批处理 方法 | ||
【主权项】：
一种系统提示停片规则并能进行批处理的方法，包括以下步骤：对生产线上所有工艺按停片规则是否相同进行分类；按不同类别分别定义了参考工艺和可参考工艺，对每一参考工艺定义了停片规则；对GUI中程序进行优化，使得汇总后的所有工艺停片规则导入系统后，系统能：(1)提供报表，给出每一批次未来可停片和不可停片的提示；(2)在GUI中做停片时能给出提示；(3)GUI中可对在线批次做批处理停片。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
