[发明专利]研磨垫磨损状况检测装置无效
| 申请号： | 201110144390.6 | 申请日： | 2011-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN102744677A | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | 廖建茂;陈逸男;刘献文 | 申请（专利权）人： | 南亚科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 臧建明 |
| 地址： | 中国台湾桃园县龟山*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种研磨垫磨损状况检测装置，适用于化学机械研磨机，且包括臂状物及高度检测器。臂状物的一端固定在化学机械研磨机上。高度检测器设置于臂状物上，用以量测研磨垫的高度变化。本发明可实时地且准确地量测出研磨垫的磨损状况。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 磨损 状况 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种研磨垫磨损状况检测装置，适用于一化学机械研磨机，且包括：一臂状物，一端固定在该化学机械研磨机上；以及一高度检测器，设置于该臂状物上，用以量测一研磨垫的高度变化。
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