[发明专利]红外烧结炉的混合气体分离装置无效

专利信息
申请号: 201110145269.5 申请日: 2011-05-31
公开(公告)号: CN102297600A 公开(公告)日: 2011-12-28
发明(设计)人: 陆利新;仝韶华;孙逸 申请(专利权)人: 上海煦康电子科技有限公司;上海大学
主分类号: F27D7/06 分类号: F27D7/06;B01D5/00
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 郑玮
地址: 200233 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种红外烧结炉的混合气体分离装置,包括分别设置在红外烧结炉的炉体顶盖(10)上的进风口(11)和出风口(12),所述进风口(11)安装有吸风罩(20),与吸风罩(20)连接有气体导流器(30),所述气体导流器(30)上设置有能将带有一定压力的动力源气体注入的气体注入口(31),所述气体导流器(30)通过气体进入管道(40)连接有冷凝腔(50),所述冷凝腔(50)通过气体排出管道(60)与所述出风口(12)连接;本发明能将混合气体中有用的氮气与有害的二氧化锡烟气、松香烟雾进行分离并收集处理,以减少环境污染;还能提高红外烧结炉的烧结能力,进而提高被烧结对象的成品率。
搜索关键词: 红外 烧结炉 混合气体 分离 装置
【主权项】:
一种红外烧结炉的混合气体分离装置,其特征在于:包括分别设置在所述红外烧结炉的炉体顶盖(10)上的进风口(11)和出风口(12),所述进风口(11)安装有吸风罩(20),与吸风罩(20)连接有气体导流器(30),所述气体导流器(30)上设置有能将带有一定压力的动力源气体注入的气体注入口(31),所述气体导流器(30)通过气体进入管道(40)连接有冷凝腔(50),所述冷凝腔(50)通过气体排出管道(60)与所述出风口(12)连接;其中,混合气体,包括放置在被烧结对象的烧结部位的锡片加热时产生的二氧化锡烟气、涂覆在被烧结对象的烧结部位的松香水加热时产生的松香烟雾、以及烧结半导体元件时所使用的氮气。
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