[发明专利]具微机电元件的封装件及其制造方法无效

专利信息
申请号: 201110145274.6 申请日: 2011-05-24
公开(公告)号: CN102774804A 公开(公告)日: 2012-11-14
发明(设计)人: 詹长岳;黄建屏;柯俊吉;邱世冠 申请(专利权)人: 矽品精密工业股份有限公司
主分类号: B81B7/00 分类号: B81B7/00;B81C1/00
代理公司: 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 代理人: 程伟;王锦阳
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明涉及一种具微机电元件的封装件及其制造方法,其中,该具微机电元件的封装件包括:具有贯穿的开口的保护层、形成于该开口中的导体、形成于该保护层与导体上的电性接触垫、设于该电性接触垫上的微机电芯片、形成于该保护层上且包覆该微机电芯片的封装胶体。本发明通过于保护层上直接设置微机电芯片,而无需使用晶片或线路板等过厚的承载件,所以可降低该封装件的整体厚度,而达到微小化的目的。
搜索关键词: 微机 元件 封装 及其 制造 方法
【主权项】:
一种具微机电元件的封装件,包括:保护层,具有相对的第一表面及第二表面、以及多个连通该第一及第二表面的开口;导体,形成于该保护层的开口中;电性接触垫,形成于该保护层的第一表面与该导体上,且电性连接该导体;微机电芯片,设于该电性接触垫上,且电性连接该电性接触垫;以及封装胶体,形成于该保护层上方,以包覆该微机电芯片,令该导体外露于该保护层的第二表面与该封装胶体。
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