[发明专利]一种消除封焊后石英晶体谐振器内部应力的退火工艺无效
| 申请号： | 201110146522.9 | 申请日： | 2011-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN102355218A | 公开（公告）日： | 2012-02-15 |
| 发明（设计）人： | 张杰 | 申请（专利权）人： | 湖北东光电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02 |
| 代理公司： | 荆门市首创专利事务所 42107 | 代理人： | 裴作平 |
| 地址： | 448124 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 一种消除封焊后石英晶体谐振器内部应力的退火工艺，其退火工艺步骤为：A、加热：将封焊后石英晶体谐振器放入真空退火炉中，真空-5.5×10-3Pa--5.5×10-3Pa，缓慢加温至100-250摄氏度后，保持1.5-2.5小时；B、降温：将上述经加热的石英晶体谐振器降温至70-150摄氏度后，再向真空退火炉内充入氮气，然后降温至常温。优点是：本工艺可消除产品在加工制造过程中产生的应力，使参数偏移的产品恢复到要求范围内。对消除质量隐患，提高产品性能稳定度有明显效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 消除 封焊后 石英 晶体 谐振器 内部 应力 退火 工艺 | ||
【主权项】：
一种消除封焊后石英晶体谐振器内部应力的退火工艺，其特征在于其退火工艺步骤为：A、加热：将封焊后石英晶体谐振器放入真空退火炉中，真空‑5.5×10‑3Pa‑‑5.5×10‑3Pa，缓慢加温至100‑250℃后，保持1.5‑2.5小时；B、降温：将上述经加热的石英晶体谐振器降温至70‑150摄氏度后，再向真空退火炉内充入氮气释放真空至常压，然后降温至常温。
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