[发明专利]一种能漏硅后防护的单晶炉有效
| 申请号： | 201110148230.9 | 申请日： | 2011-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN102220630A | 公开（公告）日： | 2011-10-19 |
| 发明（设计）人： | 吴亚军;冯立学;梁会宁;胡元庆;李华恩 | 申请（专利权）人： | 奥特斯维能源（太仓）有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/10 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 215434 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种能漏硅后防护的单晶炉，它包括：保温底板、坩埚轴、加热器、硅液导流装置、加热器防护罩；所述硅液导流装置安装固定于坩埚轴上；所述加热器防护罩完全罩住加热器的底部，并紧贴着加热器腿部。本发明通过硅液导流装置、加热器防护罩以及设有突起的保温底板的运用，使漏出的硅液最大程度地收集于保温底板中，降低了硅料的损耗，同时有效地保护了加热器和波纹管等价格昂贵的部件不受硅液的破坏，减小了损失。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 能漏硅后 防护 单晶炉 | ||
【主权项】：
一种能漏硅后防护的单晶炉，它包括：保温底板（6）、坩埚轴（7）和加热器（8），其特征在于：它还包括：硅液导流装置（15）和加热器防护罩（14）；所述硅液导流装置（15）安装固定于坩埚轴（7）上；所述加热器防护罩（14）完全罩住加热器（8）的底部，并紧贴着加热器（8）腿部。
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