[发明专利]一种等离子体源装置有效
| 申请号： | 201110148922.3 | 申请日： | 2011-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN102802337A | 公开（公告）日： | 2012-11-28 |
| 发明（设计）人： | 刘若鹏;季春霖;岳玉涛;尹小明 | 申请（专利权）人： | 深圳光启高等理工研究院;深圳光启创新技术有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种等离子体源装置，包括：微波发生器、超材料以及等离子生成器，所述的微波发生器、超材料以及等离子生成器顺序相设置，所述的微波发生器用于产生微波；所述的超材料用于将所述的微波发生器发出的微波进行调制成能与所述的等离子发生器发生谐振的微波至等离子生成器，所述的等离子体生成器用于生成等离子体。本发明提供的等离子体源装置体积小、简单、易于实现、成本低、具有广泛的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 装置 | ||
【主权项】：
一种等离子体源装置，其特征在于，包括：微波发生器、超材料以及等离子生成器，所述的微波发生器、超材料以及等离子生成器依次设置，所述的微波发生器用于产生微波；所述的超材料用于将所述的微波发生器发出的微波调制成能与所述的等离子发生器发生谐振的微波后，发送至所述的等离子生成器；所述的等离子体生成器用于生成等离子体。
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