[发明专利]一种纳秒激光切割玻璃的方法及装置有效
申请号: | 201110149227.9 | 申请日: | 2011-06-03 |
公开(公告)号: | CN102229466A | 公开(公告)日: | 2011-11-02 |
发明(设计)人: | 侯若洪;容锦泉;蔡志祥 | 申请(专利权)人: | 深圳光韵达光电科技股份有限公司 |
主分类号: | C03B33/08 | 分类号: | C03B33/08 |
代理公司: | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人: | 江耀纯 |
地址: | 518051 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种纳秒激光切割玻璃的方法,包括:聚焦步骤:将由纳秒激光器发出的激光束通过聚焦镜,聚焦的激光束垂直待切割的玻璃样品的上表面入射,使激光束的焦点位于玻璃样品的下表面;切割步骤:按预先设定的扫描路径移动激光束,使激光束与玻璃样品发生相对移动,在玻璃下表面形成一个破裂带,同时在激光照射区的玻璃上表面吹压缩气体冷却,加速破裂带向玻璃样品的上表面扩展,直至玻璃分裂成所需的图形;本发明的方法切割的准确性高,质量高,成本低,适合工业化应用。 | ||
搜索关键词: | 一种 激光 切割 玻璃 方法 装置 | ||
【主权项】:
一种纳秒激光切割玻璃的方法,其特征在于:包括如下步骤: 聚焦步骤:将由纳秒激光器发出的激光束通过聚焦镜,聚焦的激光束垂直待切割的玻璃样品的上表面入射,使所述激光束的焦点位于所述玻璃样品的下表面;切割步骤:按预先设定的扫描路径,使激光束与所述玻璃样品发生相对移动,在玻璃样品下表面形成一个破裂带,同时在激光照射区的玻璃样品上表面吹压缩气体冷却,加速破裂带向玻璃样品的上表面扩展,直至玻璃分裂成所需的图形。
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