[发明专利]光学距离测量装置

摘要

一种光学距离测量装置，由光源和干涉仪单元组成，单元具有测量-逆向反射器、位置固定地设置的基准-逆向反射器、分光器元件、光束聚合单元和检测单元。由光源发出的光束能围绕基准-逆向反射器的中心偏转。通过分光器元件将由光源入射的光束分离成至少一个测量光束和基准光束。测量光束在测量-逆向反射器的方向上传播且基准光束相对于测量光束共线地在基准-逆向反射器的方向上传播。测量-逆向反射器对测量光束和基准-逆向反射器对基准光束在光束聚合单元的方向上回反射，测量光束在测量-逆向反射器上反射之前和之后相对于基准-逆向反射器对称延伸。聚合单元使测量光束和基准光束干涉。通过检测单元能检测取决于距离的干涉信号。

主权项

一种光学距离测量装置，包括：‑光源(10；110；410；510)，‑干涉仪单元，具有测量‑逆向反射器(21；121；421；521)、位置固定地设置的基准‑逆向反射器(22；122；422；522)、分光器元件(23；230)、光束聚合单元(24；124；240；224；324；424；524)和检测单元(25；125；225；325；425；525)，其中‑由所述光源(10；110；410；510)发出的光束(S)能围绕所述基准‑逆向反射器(22；122；422；522)的中心偏转并且‑通过所述分光器元件(23；230)实现将由所述光源(10；110；410；510)入射到此的所述光束(S)分离成至少一个测量光束(MS；MS′；MS″；MS′″)和基准光束(RS)；‑所述至少一个测量光束(MS；MS′；MS″；MS′″)在所述测量‑逆向反射器(21；121；421；521)的方向上传播并且所述基准光束(RS)相对于所述至少一个测量光束(MS；MS′；MS″；MS′″)共线地在所述基准‑逆向反射器(22；122；422；522)的方向上传播，和‑所述测量‑逆向反射器(21；121；421；521)对所述测量光束(MS；MS′；MS″；MS′″)以及所述基准‑逆向反射器(22；122；422；522)对所述基准光束(RS)在所述光束聚合单元(24；124；240；224；324；424；524)的方向上进行回反射；其中所述至少一个测量光束(MS；MS′；MS″；MS′″)在所述测量‑逆向反射器(21；121；421；521)上反射之前和之后相对于所述基准‑逆向反射器(22；122；422；522)对称地延伸，并且‑所述光束聚合单元(24；124；240；224；324；424；524)使所述至少一个测量光束(MS；MS′；MS″；MS′″)和所述基准光束(RS)干涉；‑通过所述检测单元(25；125；225；325；425；525)能检测取决于距离的干涉信号。