[发明专利]器件承载装置有效
| 申请号： | 201110152913.1 | 申请日： | 2011-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN102254764A | 公开（公告）日： | 2011-11-23 |
| 发明（设计）人： | 严茂程;施翔尹 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J9/00 | 分类号： | H01J9/00;H01L21/673 |
| 代理公司： | 广东国晖律师事务所 44266 | 代理人： | 陈琳 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种器件承载装置，包含：一承载台、一真空系统、一供气系统及一放电系统。所述承载台具有一承载面、一底面及至少一通孔，且所述通孔导通所述承载面及所述底面；所述真空系统提供一真空吸力至所述通孔；所述供气系统用以输出至少一种气体至所述通孔；所述放电系统对所述气体放电，使所述气体电离成一离子流体。因此，所述通孔可用以提供所述真空吸力以承载及吸引一器件；或用以在对所述器件解除真空时提供所述离子流体，以便更有效率、更均匀且更迅速的消除所述器件的表面的静电。 | ||
| 搜索关键词： | 器件 承载 装置 | ||
【主权项】：
一种器件承载装置，其特征在于：所述器件承载装置包含：一承载台，具有一承载面及至少一通孔，且所述通孔开设于所述承载面；一真空系统，提供一真空吸力至所述通孔；一供气系统，输出至少一种气体至所述通孔；以及一放电系统，对所述气体放电，使所述气体电离成一离子流体；其中所述通孔用以提供所述真空吸力以承载及吸引一器件；或用以在对所述器件解除真空时提供所述离子流体，以便消除所述器件的表面的静电。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市华星光电技术有限公司，未经深圳市华星光电技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110152913.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
