[发明专利]金刚石膜生长电极弹性张紧装置

摘要

一种金刚石膜生长电极弹性张紧装置，包括底板（5）和衬底工作台（21），其特征是所述热丝（20）的两端固定在对应的左钼电极（2）和右钼电极（3）中，所述的左钼电极（2）和右钼电极（3）分别安装在对应的左弹性支架（1）和右弹性支架（4）的上端，所述的左弹性支架（1）和右弹性支架（4）的下端对称安装衬底工作台（21）两侧的底板（5）上；所述的左弹性支架（1）和右弹性支架（4）的弹性系数k=（1~3）n·r2，其中r=0.1~1mm；左弹性支架（1）和右弹性支架（4）向内收缩后两端之间的距离L（mm）与热丝的工作长度L1（mm）之间应满足以下关系L1=5+1.05L。本发明电极结构简单，制造成本低，在金刚石生长过程中热丝保持始终平直状态，未出现热丝被拉断现象，衬底温度场的均匀性得到改善，沉积的CVD金刚石膜均匀性提高。

主权项

一种金刚石膜生长电极弹性张紧装置，包括底板（5）和衬底工作台（21），衬底工作台（21）安装在底板（5）上，热丝（20）位于衬底工作台（21）的上部，其特征是所述热丝（20）的两端固定在对应的左钼电极（2）和右钼电极（3）中，所述的左钼电极（2）和右钼电极（3）分别安装在对应的左弹性支架（1）和右弹性支架（4）的上端，所述的左弹性支架（1）和右弹性支架（4）的下端对称安装衬底工作台（21）两侧的底板（5）上；所述的左弹性支架（1）和右弹性支架（4）的弹性系数k(N/mm)与热丝（20）的数量n及热丝（20）的半径r满足以下关系k=（1~3）n·r2，其中r=0.1~1mm；左弹性支架（1）和右弹性支架（4）向内收缩后两端之间的距离L（mm）与热丝的工作长度L1（mm）之间应满足以下关系L1=5+1.05 L。